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簡要描述:DS-2000/14G型光刻機該機可采用紫外光、深紫外光、甚至更短波長的極紫外光作為光源,用DMD數(shù)字微鏡陣列替代傳統(tǒng)掩模板,采用積木 錯位蠅眼透鏡實現(xiàn)高均勻照明。
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芯片加工設備
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