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看看URE-2000/35型紫外光刻機(jī)都有哪些突破傳統(tǒng)的優(yōu)勢?

更新時(shí)間:2021-06-17      點(diǎn)擊次數(shù):1140
  隨著電子工業(yè)的快速發(fā)展,對作為電子元器件基礎(chǔ)的印制板的需求和對加工精度的要求越來越高。URE-2000/35型紫外光刻機(jī)是印制板制造過程中的重要設(shè)備。傳統(tǒng)的光刻機(jī)在生產(chǎn)過程中需要人工吹膜,需要經(jīng)常更換薄膜。由于散熱系統(tǒng)過于臃腫,其生產(chǎn)成本高、效率低,已不能滿足PCB生產(chǎn)的需要。在實(shí)驗(yàn)的基礎(chǔ)上,設(shè)計(jì)了一種雙層玻璃干燥架光刻機(jī),對其主要部件進(jìn)行了改進(jìn),包括干燥架系統(tǒng)、光路系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、電氣和控制系統(tǒng)的整體設(shè)計(jì)。
  在計(jì)算機(jī)的控制下,URE-2000/35型紫外光刻機(jī)利用聚焦電子束對有機(jī)聚合物(通常稱為電子抗蝕劑或光刻膠)進(jìn)行曝光。光刻膠改變其物理和化學(xué)性質(zhì),在一定的溶劑中形成良好或不良的溶解區(qū)域,從而在抗蝕劑上形成精細(xì)的圖案。
 

URE-2000/35型紫外光刻機(jī)

 

  紫外投影光刻是將特定形狀的光斑投射到器件表面涂覆的光刻膠上,使光刻膠在照射區(qū)域發(fā)生化學(xué)變化,曝光顯影后可形成微米級精密圖案;進(jìn)一步的蝕刻或蒸發(fā)可以在樣品表面形成所需的結(jié)構(gòu)。UV投影光刻作為材料、器件、微結(jié)構(gòu)和微器件的常用制備技術(shù),廣泛應(yīng)用于維納結(jié)構(gòu)制備、半導(dǎo)體器件電極制備、太赫茲/毫米波器件制備、光掩模制備、PCB制造等應(yīng)用領(lǐng)域。常規(guī)UV投影光刻機(jī)需要先制作掩膜版。耗材成本高、生產(chǎn)周期長,難以滿足材料器件實(shí)驗(yàn)室對靈活性和實(shí)驗(yàn)進(jìn)度的要求。近年來發(fā)展起來的無掩模光刻技術(shù)突破了這一技術(shù)局限,實(shí)現(xiàn)了任意形狀編程、自動高精度大規(guī)模拼接無掩模光刻,隨時(shí)將您的設(shè)計(jì)轉(zhuǎn)化為實(shí)際成品,大大縮短了開發(fā)測試周期,強(qiáng)力輔助維納微納器件的制備。
  URE-2000/35型紫外光刻機(jī)基于多年微納結(jié)構(gòu)制備經(jīng)驗(yàn),自主研發(fā)高均勻度UV光源、高保真導(dǎo)光路、高精度、大行程、大承重納米平臺等核心技術(shù),結(jié)合高度穩(wěn)定的機(jī)械結(jié)構(gòu)、自動化和軟件設(shè)計(jì),推出全自動高精度無掩模光刻機(jī)。
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